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氩离子抛光仪的产品参数
点击次数:440 发布时间:2018-01-09
   氩离子抛光仪通过离子枪激发获得的离子束,以垂直于样品侧面纵向轰击样品,可获得高质量无应力“切割”截面,便于SEM观察。
  该处理方法适用于多层膜材料、软硬复合材料等高难度制备样品,并且操作简单,可有效避免涂抹效应,不需要大量摸索条件即可获得理想的截面,使样品暴露内部细微结构信息。
  这一技术几乎是*一个适用于任何材质样品,获得高质量切割截面的解决方法。使用该技术对样品进行处理,样品受到形变或损伤的可能性zui低,可暴露出样品内部真实的结构信息。
  在技术上超越了传统的离子束抛光切割设备。它使用三离子束,并可装配冷冻样品台和三样品台,可以高速率离子束轰击样品,得到宽且深的切割区域,获得一个高质量的平整的切割截面,几乎适用于任何材料,整个样品处理过程快速简便。
  河南氩离子抛光仪技术参数:
  可容纳zui大样品尺寸50×50×10mm,可获得有效切割截面面积>4mm×1mm
  三把离子枪,离子束能量1keV-10keV,切割速率150m/h (Si@10kV, 50m切割高度)
  离子束处理过程中样品位置固定,无需偏转运动,无投影效应,热传导性好
  可进行离子束切割或刻蚀,可选择任意离子枪
  真空泵解耦合设计,无震动传导
  触摸屏操作面板,直观、简易操作,可编程可软件升级
  可选配:液氮制冷冷台-150°至 30°,25L液氮罐及自动泵,具有自动快速制冷功能
  可选配:三样品台,可一次连续处理三个样品
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